添加時(shí)間:2024/01/19
供應(yīng)鏈消息人士透露,應(yīng)用材料全球首臺(tái)第6代AMOLED垂直蒸鍍機(jī)已出貨,成功打破日韓廠商在6代蒸鍍機(jī)的壟斷格局。
蒸鍍工藝是OLED制造的核心工藝之一,制約著OLED的良率和產(chǎn)能。根據(jù)精密金屬掩膜板(FMM)放置方向,蒸鍍工藝可分為水平蒸鍍以及垂直蒸鍍。
目前,水平蒸鍍是OLED產(chǎn)業(yè)的主流,6代水平蒸鍍機(jī)由日本佳能Tokki和韓國(guó)Sunic-System壟斷,已量產(chǎn)的6代OLED產(chǎn)線絕大部分采用佳能Tokki蒸鍍機(jī),少部分采用Sunic System蒸鍍機(jī),所以佳能Tokki是水平蒸鍍機(jī)的霸主。

不過,水平蒸鍍工藝并不完美,一直存在“重力下垂”的技術(shù)瓶頸。據(jù)介紹,F(xiàn)MM是超薄的金屬遮罩,當(dāng)水平放置時(shí),在重力的作用下FMM中間與邊緣存在一定的偏移量,而且FMM尺寸越大偏移的幅度越明顯。這不利于提高AMOLED的PPI,使混色良率降低,大幅提高了AMOLED生產(chǎn)成本。
而垂直蒸鍍工藝最大的優(yōu)點(diǎn)就能避免水平蒸鍍工藝FMM“重力下垂”帶來的干擾。垂直蒸鍍工藝則將FMM垂直放置,F(xiàn)MM和玻璃基板形變小,蒸鍍更均勻,像素位置精度(PPA)更高,混色更小,同時(shí)可以提升分辨率,降低功耗、成本,成為一個(gè)重要的蒸鍍工藝制程方向。
當(dāng)前,只有JDI擁有一條垂直蒸鍍工藝低世代量產(chǎn)線,主要用于生產(chǎn)手表用的OLED。JDI表示,垂直方式蒸鍍?cè)O(shè)備所占面積相比目前的水平方式蒸鍍?cè)O(shè)備的減少30%。業(yè)內(nèi)人士也向WitDisplay透露,JDI為蘋果手表供應(yīng)的OLED就是采用垂直蒸鍍工藝生產(chǎn)的。
6代、8.5代垂直蒸鍍機(jī)沒有量產(chǎn)案例,三星顯示、京東方最新公布的8.6代OLED產(chǎn)線皆采用水平蒸鍍機(jī),垂直蒸鍍機(jī)能否成功挑戰(zhàn)更為成熟的水平蒸鍍機(jī),值得關(guān)注。
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